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residual gas analyzer residualgasanalyzer

世界大百科事典内のresidual gas analyzerの言及

【真空計】より

…得られたデータから成分の組成と分圧とを算出することは,原理的には可能であるが,精度が悪く,ほとんど行われていない。定性的な,あるいは半定量的な分析に使用されるので,真空分析計vacuum analyzer,あるいは残留ガス分析計residual gas analyzer(RGA)と呼ばれることが多い。【中山 勝矢】。…

※「residual gas analyzer」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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