シリコンウェファー

化学辞典 第2版

シリコンウェファー
シリコンウェファー
silicon wafer

シリコンウエハともいう．シリコン(ケイ素)の円柱状の単結晶を，薄く切り出した円盤状の板をいう．半導体産業における母材ともいうべきものである．直径は5，8，12インチが一般的で，この上に回路パターンを露光し，エッチングなどの処理をほどこして集積回路(IC)を作製する．通常，1枚のウェファー上に同じ集積回路を同時に多数作製し，これらを個別に切り出してICチップにする．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」