ナノリソグラフィー（その他表記）nanolithography

デジタル大辞泉「ナノリソグラフィー」の意味・読み・例文・類語

フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。

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