プラズマCVD法（読み）ぷらすましーぶぃでぃーほう

世界大百科事典（旧版）内のプラズマCVD法の言及

【薄膜】より

…プラズマでなく，加速電子で励起，イオン化する方法は，ホロー陰極放電法と呼ばれる。また，CVD法の変形で，高温で反応を行わせるかわりに，低温で放電を行わせて必要な物質を析出させる方法をプラズマCVD法といい，CVD法の反応槽に高周波または直流電力を導入する。SiH₄の分解による非晶質Siの生成，SiH₄とN₂の混合ガスの反応によるSi₃N₄の生成などの例があり，また炭化水素系ガスのプラズマCVD法では，条件により，ダイヤモンド，グラファイトの薄膜ができる一方，重合によりポリマーの薄膜が形成されることもある。…

※「プラズマCVD法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」