化学辞典 第2版 「ゲッターイオンポンプ」の解説
ゲッターイオンポンプ
ゲッターイオンポンプ
getter ion pump
ゲッターポンプは不活性気体に対しては排気能力がないので，不活性気体にも排気能力をもたすためには，不活性気体をイオン化する必要がある．このイオン化現象を加えたゲッターポンプを，ゲッターイオンポンプという．この種のなかで現在よく使用されているポンプに，オービトロンポンプ，静電型ゲッターイオンポンプおよびスパッターイオンポンプがある．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報