ゲッターポンプ(英語表記)getter pump

化学辞典 第2版の解説

多量の活性金属の蒸着膜をつくり,それに気体を吸着させることでポンプ作用をするものをいう.現象的にはこのほかにゲッターイオンポンプ,スパッターイオンポンプ,ソープションポンプ,クライオポンプもゲッターポンプの一種である.ゲッターポンプの材料としてはチタンがもっとも多く使われている.チタンの蒸着膜を液体窒素で冷却すると,排気速度,到達圧力の改善に有効である.ゲッターポンプの排気機構は,金属膜と活性気体間の化学吸着であるので,不活性気体に対しては排気能力がない.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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