往復式真空ポンプ（読み）おうふくしきしんくうポンプ（英語表記）reciprocating vacuum pump

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

往復式真空ポンプ
おうふくしきしんくうポンプ
reciprocating vacuum pump

主要構造は往復圧縮機と同じであるが，低真空型 (1段で1～3kPa) のものでは自動弁型 (自由弁型) ，高真空型 (1段で 300～500Pa) のものでは他動弁型 (滑り弁型) にしている。自動弁型では，吸込み弁，吐出し弁とも板弁を使用しているのに対し，他動弁型ではシリンダ側面にピストンとある一定の位相差をもって往復摺動する滑り弁をもつ。シリンダならびに弁室の冷却は水ジャケットに冷却水を流すものが多い。到達圧力を下げるため直列2段としたものもある。

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