成膜（読み）セイマク

デジタル大辞泉「成膜」の意味・読み・例文・類語

物体表面に薄膜を形成すること。特に、半導体チップの製造において、シリコンウエハーの表面に回路となる配線膜や絶縁膜を形成することをさす。

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