成膜(読み)セイマク

デジタル大辞泉 「成膜」の意味・読み・例文・類語

せい‐まく【成膜】

物体表面薄膜を形成すること。特に、半導体チップ製造において、シリコンウエハーの表面に回路となる配線膜や絶縁膜を形成することをさす。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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