表面粗さ測定器（読み）ひょうめんあらさそくていき（その他表記）surface roughness measuring instrument

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

表面粗さ測定器
ひょうめんあらさそくていき
surface roughness measuring instrument

機械部品などの表面の粗さをはかる測定器。触針法，光波干渉法，光切断法によるものがある。触針法によるものが最も基本的で広く用いられており，曲率半径が数μm 以下のダイヤモンドやサファイア製の針 (触針) の先端で，測定する試料表面の凹凸をたどり，その変位を機械的，電気的に検出・拡大して記録する。触針の測定圧力は通常 0.1～0.5gで，拡大方式には機械式，光てこ式，電気式，空気マイクロメータ式などがある。拡大倍率は，機械・光てこ併用方式で 1000～1万 5000倍，電気式で 1000～10万倍程度である。触針先端は微小ながら曲率半径をもっているので，得られる記録曲線 (断面曲線) と実際の表面形状とは厳密には一致しないが，一般の加工表面の評価にとって支障はない。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典