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表面粗さ測定器 ひょうめんあらさそくていきsurface roughness measuring instrument

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

表面粗さ測定器
ひょうめんあらさそくていき
surface roughness measuring instrument

機械部品などの表面の粗さをはかる測定器。触針法,光波干渉法,光切断法によるものがある。触針法によるものが最も基本的で広く用いられており,曲率半径が数μm 以下のダイヤモンドやサファイア製の針 (触針) の先端で,測定する試料表面の凹凸をたどり,その変位を機械的,電気的に検出・拡大して記録する。触針の測定圧力は通常 0.1~0.5gで,拡大方式には機械式,光てこ式,電気式,空気マイクロメータ式などがある。拡大倍率は,機械・光てこ併用方式で 1000~1万 5000倍,電気式で 1000~10万倍程度である。触針先端は微小ながら曲率半径をもっているので,得られる記録曲線 (断面曲線) と実際の表面形状とは厳密には一致しないが,一般の加工表面の評価にとって支障はない。

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