CVD法（読み）しーぶいでぃーほう

世界大百科事典（旧版）内のCVD法の言及

【薄膜】より

…一方，非平衡過程で形成された薄膜には，異常構造，非化学量論性などが現れやすく，品質に問題が生ずることもあるが，反面，新しい性質が生まれる可能性もある。　準平衡過程による薄膜製造法の代表は気相成長法(CVD法。chemical vapor depositionの略)である。…

※「CVD法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」