HEPAフィルター（読み）ヘパフィルター

デジタル大辞泉 「HEPAフィルター」の意味・読み・例文・類語

ヘパ‐フィルター【HEPAフィルター】

《high efficiency particulate air filter》空気中のちりを濾過ろかして清浄化するエアフィルター。クリーンルームやクリーンベンチなどに用いられる。JISジス規格では、0.3マイクロメートルの粒子の除去率が99.97パーセント以上のものと規定される。さらに集塵効果を高めたULPAウルパフィルターがある。

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