ULPAフィルター(読み)ウルパフィルター

デジタル大辞泉 「ULPAフィルター」の意味・読み・例文・類語

ウルパ‐フィルター【ULPAフィルター】

《ultra low penetration air filter》空気中のちりを濾過ろかして清浄化するエアフィルター。クリーンルームやクリーンベンチなどに用いられる。JIS規格では0.15マイクロメートルの粒子を99.9995パーセント以上捕集できるものをさす。HEPAフィルターに比べてフィルターの繊維密度が高く、空気抵抗を抑えるために薄く作られており強度が弱い。

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