翻訳|clean room
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
(荒川泰彦 東京大学教授 / 桜井貴康 東京大学教授 / 2007年)
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…コストの抑制には処理工程の自動化,標準化,省力化および最適化による歩どまりの改善等,総合技術力の向上が要求される。 LSIはクリーンルームと呼ばれるきわめて清浄度の高い室内で製造されるが,パターンが微細になるほど,空気中に存在する塵埃のごく小さなものまでが問題となる。このような微細な異物を除去するには,目のきわめて細かなフィルターが必要で,これは空気清浄設備の大型化を招く結果となる。…
※「クリーンルーム」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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