クリーンルーム（その他表記）clean room

デジタル大辞泉

クリーン‐ルーム（clean room）

壁面や空気中に存在するちりの数や量を少なくするように管理してある部屋。高精密を要する部品・IC加工などに利用される。防塵ぼうじん室。無塵室。

出典　小学館

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

クリーンルーム
clean room

フィルタなどを使って空気中の微小な塵埃粒子を除去した特殊な建物で，半導体集積回路の製造に不可欠な設備。半導体集積回路を製造する場合，空気中に浮遊している塵埃 (じんあい) 粒子が半導体ウェハーに付着すると欠陥発生などの障害を生じるから，大きさ1μm以下の微小粒子に至るまでこれを除去しておかねばならない。また集積回路の製造では純水・各種ガス・化学薬品などを使用し，これらの円滑な供給と品質純度を系統管理する必要がある。有害な廃棄物 (廃ガスや廃液) も生じるので，その対処も欠かせない。クリーンルーム内部は外界とは遮断された環境となっており，フィルタでろ過した清浄な空気 (塵埃密度 100個/m³以下) が供給される (通常の室内は塵埃密度 100万個/m³以上) 。クリーンルーム内の作業者は，身体や衣服から塵埃が出ることを防止するために無塵服を着用する。温度と湿度は一定に保たれており，純水・ガス・化学薬品・液体窒素などは配管によってクリーンルーム内の随所に配給される。廃ガス・廃液などを浄化する処理設備や，非常時の自家発電装置も備えられている。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

知恵蔵

クリーン・ルーム

半導体素子や集積回路の製造を行うために、微小なほこりまで極度に少なくした作業室。極めて目の細かいフィルターを通して清浄化した空気を、天井から流し込み、金網状の床から下へ流し去るダウン・フロー方式が主流である。またウエハの流れる部分のみを超クリーン化したクリーン・トンネル法もある。温度、湿度制御もする。入室時は白衣やマスクを着用する。近年では、極度にほこりを減らし、さらに純水やガス、真空装置内までを極度に清浄化したスーパークリーン技術や、配管の内壁や装置の内壁のクリーンさにまで気を配るウルトラクリーン技術が開発されている。

(荒川泰彦 東京大学教授 ／ 桜井貴康 東京大学教授 ／ 2007年)

出典　(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」

ASCII.jpデジタル用語辞典

クリーンルーム

空気中の塵や細菌を取り除き、静電気が発生しにくい状況などを作り出した部屋のこと。半導体や精密機器の製作で使用される。

出典　ASCII.jpデジタル用語辞典

レーシック関連用語集

クリーンルーム

高性能フィルターで除塵・除菌のされた部屋のことで、多くの医院ではクリーンルームで手術を行っています。　

出典　レーシックNET

世界大百科事典（旧版）内のクリーンルームの言及

【集積回路】より

…コストの抑制には処理工程の自動化，標準化，省力化および最適化による歩どまりの改善等，総合技術力の向上が要求される。　LSIはクリーンルームと呼ばれるきわめて清浄度の高い室内で製造されるが，パターンが微細になるほど，空気中に存在する塵埃のごく小さなものまでが問題となる。このような微細な異物を除去するには，目のきわめて細かなフィルターが必要で，これは空気清浄設備の大型化を招く結果となる。…

※「クリーンルーム」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」