SOI素子（読み）エスオーアイソシ

化学辞典 第2版

SOI素子
エスオーアイソシ
silicon on insulator device

MOS(モス)トランジスターの高速化をはかるための素子構造のこと．シリコンをエピタキシャル成長(エピタキシー)できる絶縁性基板上に，シリコン薄膜をエピタキシャル成長させ，このシリコン上にMOSトランジスターをつくることによりシリコン基板の寄生効果の影響を低減でき，高速化を実現している．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」