イオン研磨（読み）イオンけんま

最新 地学事典

イオンけんま
イオン研磨

ion milling ,ion thinning ,ion etching

アルゴンガスなどの不活性ガスを用い，鉱物や無機材料のための透過型電子顕微鏡用薄膜試料の作成法の一種。ガスを導入しながら10^－3Pa程度の圧力にして数kVの電圧をかけるとプラズマ状態ができ，この電離イオンを岩石用研磨薄片等からはがした試料に低角度で照射して試料薄片に穴があくまで研磨する。穴の周辺にきわめて薄い試料部分ができ電顕観察できる。岩石中の鉱物等の特定の結晶方位試料作成に必要。

執筆者：赤井 純治

出典　平凡社「最新 地学事典」