ナノマシニング（その他表記）nano machining

デジタル大辞泉

ナノ‐マシニング（nano machining）

ナノメートル程度という分子レベルの微細構造をつくる技術。走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、光ピンセット、自己組織化などの技術を応用する。→マイクロマシニング →ナノマシン →NEMSネムス

出典　小学館