マイクロマシニング（その他表記）micro-machining

デジタル大辞泉

マイクロ‐マシニング（micro machining）

半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、数十マイクロメートル程度の微小機械をつくる技術。→ナノマシニング →マイクロマシン →MEMSメムス

出典　小学館

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

マイクロマシニング
micro-machining

数十μm程度の歯車やマイクロアクチュエータなどの微小機械をつくる加工技術。超微細加工ともいう。大規模集積回路 LSIや光学素子などの数μm以下の微細な形状をつくりだす加工技術をさらに高めたもので，原理は LSIの加工技術と同じ。究極的には原子レベルの操作を目指しており，すでに走査トンネル顕微鏡を利用して原子を 1個ずつ動かして文字を描くことに成功している。表面で構造物を組み立てる表面マイクロマシニングとケイ素 Siを削って作製するバルク・マイクロマシニングという技術がある。（→ナノテクノロジー）

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典