デジタル大辞泉 「マイクロマシニング」の意味・読み・例文・類語 マイクロ‐マシニング(micro machining) 半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、数十マイクロメートル程度の微小機械をつくる技術。→ナノマシニング →マイクロマシン →MEMSメムス 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「マイクロマシニング」の意味・わかりやすい解説 マイクロマシニングmicro-machining 数十μm程度の歯車やマイクロアクチュエータなどの微小機械をつくる加工技術。超微細加工ともいう。大規模集積回路 LSIや光学素子などの数μm以下の微細な形状をつくりだす加工技術をさらに高めたもので,原理は LSIの加工技術と同じ。究極的には原子レベルの操作を目指しており,すでに走査トンネル顕微鏡を利用して原子を 1個ずつ動かして文字を描くことに成功している。表面で構造物を組み立てる表面マイクロマシニングとケイ素 Siを削って作製するバルク・マイクロマシニングという技術がある。(→ナノテクノロジー) 出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報 Sponserd by