モノリシック集積回路（読み）モノリシックシュウセキカイロ（その他表記）monolithic integrated circuit

デジタル大辞泉

モノリシック‐しゅうせきかいろ〔‐シフセキクワイロ〕【モノリシック集積回路】

⇒モノリシックIC

出典　小学館

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

モノリシック集積回路
モノリシックしゅうせきかいろ
monolithic integrated circuit

mono (1つの) ，lithic (石の) が示すように，1枚の基板の上，もしくは内に，トランジスタ，ダイオード，抵抗および容量をつくりつけ，配線した集積回路。基板内に素子をつくりつける場合，基板は半導体であり，現在用いられているものはほとんどがシリコンである。これは，大きい (直径 10cm以上) 無転位欠陥の単結晶が容易に作製でき，また二酸化シリコン SiO₂ という絶好の絶縁物が得られることなどによる。エピタキシャル成長，不純物の拡散，CVD，シリコン酸化，ホトエッチング，金属蒸着などの技術を用いて，基板の片側表面から素子を段階的につくりつける。集積度を上げやすく，LSI，超 LSIなどはシリコンを用いたモノリシック集積回路である。コンピュータの演算素子，内部記憶素子などのほとんどがモノリシック集積回路である。

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