デジタル大辞泉 「ナノリソグラフィー」の意味・読み・例文・類語 ナノリソグラフィー（nanolithography） フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
