フォトリソグラフィー(英語表記)photolithography

  • photo lithography

翻訳|photolithography

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

集積回路 IC液晶ディスプレイなどの製造において,光を用いて微細な加工を施す技術。IC製造の場合では,ガラス・マスクを通して光を照射し,感光性樹脂を塗布した半導体ウェア上に微細な ICパターンを写する(→エッチング)。大規模集積回路 LSI微細化を進めるうえで欠かせない技術とされる。光学系の技術改善や,感光性樹脂の転写精度の向上などにより解像度が向上し,今日ではナノメートルnm。10億分の1m)単位の精度で半導体素子の加工が可能となっている。

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