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フォトリソグラフィー photolithography

翻訳|photolithography

デジタル大辞泉の解説

フォトリソグラフィー(photolithography)

《「フォトリトグラフィー」とも》半導体集積回路などの製造工程で、シリコンのウエハー上にフォトレジストという感光材料を塗布し、レチクルフォトマスク)とよばれる回路のパターンの原板を重ねて光を照射し、エッチングなどで刻み込む技術。光リソグラフィーリソグラフィー

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

フォトリソグラフィー
photo lithography

集積回路 ICや液晶ディスプレイなどの製造において,光を用いて微細な加工を施す技術。IC製造の場合では,ガラス・マスクを通して光を照射し,感光性樹脂を塗布した半導体ウェア上に微細な ICパターンを転写する(→エッチング)。大規模集積回路 LSIの微細化を進めるうえで欠かせない技術とされる。光学系の技術改善や,感光性樹脂の転写精度の向上などにより解像度が向上し,今日ではナノメートル(nm。10億分の1m)単位の精度で半導体素子の加工が可能となっている。

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