イオンビーム(英語表記)ion beam

世界大百科事典 第2版「イオンビーム」の解説

イオンビーム【ion beam】

正または電荷をもったイオンの流れ。タングステンのような高融点金属を真空中で熱し,そこから出る熱電子を100eV程度に加速して気体原子に衝突させ,その際に発生するイオンを電場で加速することによって得られる。真空中で電子を振動させるとイオン化の効率が高められる。また低電圧のアーク放電高周波放電を利用しても作れる。イオンの質量選別は磁場で曲げて行い,エネルギー分析は減速電場法,静電場偏向分析法など数種の方法がある。

出典 株式会社平凡社世界大百科事典 第2版について 情報

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