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イオンビーム ion beam

デジタル大辞泉の解説

イオン‐ビーム(ion beam)

原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路作製金属の表面加工などに用いられる。

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世界大百科事典 第2版の解説

イオンビーム【ion beam】

正または負の電荷をもったイオンの流れ。タングステンのような高融点金属を真空中で熱し,そこから出る熱電子を100eV程度に加速して気体原子に衝突させ,その際に発生するイオンを電場で加速することによって得られる。真空中で電子を振動させるとイオン化の効率が高められる。また低電圧のアーク放電や高周波放電を利用しても作れる。イオンの質量選別は磁場で曲げて行い,エネルギー分析は減速電場法,静電場偏向分析法など数種の方法がある。

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大辞林 第三版の解説

イオンビーム【ion beam】

原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを、電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。イオン源(銃)・加速部電磁レンズ・偏向部などから構成される装置でつくられる。加速器、半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工、表面および内部の分析などに用いられる。

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