イオンビーム（その他表記）ion beam

デジタル大辞泉

イオン‐ビーム（ion beam）

原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路の作製、金属の表面加工などに用いられる。

出典　小学館

改訂新版　世界大百科事典

イオンビーム
ion beam

正または負の電荷をもったイオンの流れ。タングステンのような高融点金属を真空中で熱し，そこから出る熱電子を100eV程度に加速して気体原子に衝突させ，その際に発生するイオンを電場で加速することによって得られる。真空中で電子を振動させるとイオン化の効率が高められる。また低電圧のアーク放電や高周波放電を利用しても作れる。イオンの質量選別は磁場で曲げて行い，エネルギー分析は減速電場法，静電場偏向分析法など数種の方法がある。イオンビームは，原子，分子，原子核など物質構造の研究，ラジオアイソトープの製作や集積回路などの加工にも利用されている。
執筆者：細谷 資明

出典　株式会社平凡社「改訂新版　世界大百科事典」