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イオンビーム イオンビーム ion beam

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デジタル大辞泉の解説

イオン‐ビーム(ion beam)

原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路の作製、金属の表面加工などに用いられる。

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世界大百科事典 第2版の解説

イオンビーム【ion beam】

正または負の電荷をもったイオンの流れ。タングステンのような高融点金属を真空中で熱し,そこから出る熱電子を100eV程度に加速して気体原子に衝突させ,その際に発生するイオンを電場で加速することによって得られる。真空中で電子を振動させるとイオン化の効率が高められる。また低電圧のアーク放電高周波放電を利用しても作れる。イオンの質量選別は磁場で曲げて行い,エネルギー分析は減速電場法,静電場偏向分析法など数種の方法がある。

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大辞林 第三版の解説

イオンビーム【ion beam】

原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを、電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。イオン源(銃)・加速部電磁レンズ・偏向部などから構成される装置でつくられる。加速器、半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工、表面および内部の分析などに用いられる。

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