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モノリシック集積回路 モノリシックしゅうせきかいろmonolithic integrated circuit

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

モノリシック集積回路
モノリシックしゅうせきかいろ
monolithic integrated circuit

mono (1つの) ,lithic (石の) が示すように,1枚の基板の上,もしくは内に,トランジスタ,ダイオード,抵抗および容量をつくりつけ,配線した集積回路。基板内に素子をつくりつける場合,基板は半導体であり,現在用いられているものはほとんどがシリコンである。これは,大きい (直径 10cm以上) 無転位欠陥の単結晶が容易に作製でき,また二酸化シリコン SiO2 という絶好の絶縁物が得られることなどによる。エピタキシャル成長,不純物の拡散,CVD,シリコン酸化,ホトエッチング,金属蒸着などの技術を用いて,基板の片側表面から素子を段階的につくりつける。集積度を上げやすく,LSI,超 LSIなどはシリコンを用いたモノリシック集積回路である。コンピュータの演算素子,内部記憶素子などのほとんどがモノリシック集積回路である。

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