最新 地学事典 「後方散乱電子像」の解説
こうほうさんらんでんしぞう
後方散乱電子像
backscattered electron image
走査電子顕微鏡において，試料に照射された１次電子が試料内で弾性散乱および非弾性散乱し，再び試料表面から飛び出してきた反射電子を検出して画像化したもの。反射電子像と同義語。反射電子は，強いエネルギーをもっているため，１次電子の光軸方向に検出器を設置してとらえると最も効率がよく，その場合１次電子の後方に散乱した反射電子をとらえた画像となるので後方散乱電子像と呼ばれる。
執筆者：道林 克禎
出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報
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