極紫外線(読み)キョクシガイセン

デジタル大辞泉の解説

きょく‐しがいせん〔‐シグワイセン〕【極紫外線】

波長1~10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線遠紫外線

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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