極紫外線（読み）キョクシガイセン

デジタル大辞泉

きょく‐しがいせん〔‐シグワイセン〕【極紫外線】

波長1～10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線 →遠紫外線

出典　小学館