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油拡散ポンプ あぶらかくさんぽんぷ

世界大百科事典内の油拡散ポンプの言及

【真空ポンプ】より

…高速の流体を噴射してその周囲の気体や液体を吸引する装置をエゼクターejectorというが,蒸気噴射ポンプは流体として蒸気を用いたもので,機械運動部分がないのが特徴である。スチームエゼクター,油拡散ポンプ,水銀拡散ポンプなどがこの型式に入る。最後の物理・化学作用ポンプは,気体分子を物理的または化学的作用により捕集して真空を作るもので,容器中の気体分子をイオン化して電極で集積するイオンポンプをはじめ,ゲッター・イオンポンプ,クライオポンプなどがある。…

※「油拡散ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト
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