拡散ポンプ（読み）かくさんポンプ

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

拡散ポンプ
かくさんポンプ
diffusion pump

10^-1～10^-6 Paのような高真空を得るために用いられる一種の噴流ポンプ。補助真空ポンプによってある程度真空にされた円筒形容器の底部にある作動液 (通常は油) を外部から加熱して蒸発させて，これを特殊なノズルから噴出させ，これらの蒸気の噴流で気体分子を吸引して補助真空側に運び，噴流は外部から冷却された壁に衝突して液化して流下し，容器の底部に戻る。下部にたまった空気は補助ポンプで外部に押出す。この動作を繰返すことにより高真空が得られる。補助真空ポンプとしては油回転真空ポンプまたはメカニカルブースタが用いられる。作動液に油を用いる油拡散ポンプの場合，10～5Paの補助真空が必要である。拡散ポンプのすぐ上部の配気管に液体窒素などで冷却するトラップ部を設けてやると 10^-6 Pa近くまでの高真空が得られる。作動液に水銀を用いた水銀拡散ポンプ (補助真空 500～100Pa，到達真空度 10^-1 Pa) もある。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

日本大百科全書(ニッポニカ)

拡散ポンプ
かくさんぽんぷ

真空ポンプの一種。とくに高真空をつくるのに用いられる装置である。補助真空ポンプによってある程度真空にされた容器内で、作動液（水銀またはアピエゾンなどの低沸点油）を加熱、蒸発させてノズルから噴出させ、周囲の気体分子をいっしょに運び出すようにしたものである。蒸気噴流は、冷却された壁に衝突して凝縮し、流下してボイラーに戻る。10^-8mmHg程度の真空をつくることができ、原子物理学の実験などに用いられる。

［池尾　茂］

[参照項目] | 真空ポンプ

拡散ポンプの原理

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)