日本大百科全書(ニッポニカ) 「真空マイクロ素子」の意味・わかりやすい解説
真空マイクロ素子
しんくうまいくろそし
真空管と半導体デバイス（半導体結晶が電子素子として働く仕組み）の長所をあわせもった高性能な10マイクロメートル程度の微細な真空デバイスをいう。真空中の電子のもつ高速性や優れた耐環境性を利用するもので、微細化・集積化の巧みなマイクロエレクトロニクス技術により実現した。基本構造は微細な真空容器と、真空中に電子を放出する陰極と受けとる陽極で、電子の供給は半導体デバイスや集積回路によるために、複雑な信号処理を同時に行うことができる。電子源としての陰極は、熱源のいらない固体の鋭い先端から電子を放出させる電界放射型の冷陰極が有望視されており、エッチングしたシリコンアレイに陰極材料を蒸着するなどして構成した縦型のものや横型のものがある。このため、真空マイクロ素子は単体よりも多数を同時に集積できる利点がある。これまでに、フラットパネル・ディスプレー、グリッドを加えた三極管、真空磁気センサーが試作されている。
［岩田倫典］