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真空部品 シンクウブヒン

デジタル大辞泉の解説

しんくう‐ぶひん【真空部品】

各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。

出典|小学館デジタル大辞泉について | 情報 凡例

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