真空部品（読み）シンクウブヒン

デジタル大辞泉「真空部品」の意味・読み・例文・類語

各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。

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