半導体製造装置 ハンドウタイセイゾウソウチ

デジタル大辞泉

はんどうたい‐せいぞうそうち〔ハンダウタイセイザウサウチ〕【半導体製造装置】

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。

出典　小学館

朝日新聞掲載「キーワード」

半導体製造装置

携帯電話やテレビ、自動車に使われる半導体は「基板に回路を焼きつける」「配線部分に金属の膜をつくる」など工程ごとに違う製造装置が必要で、装置づくりを担うのが半導体製造装置メーカーだ。半導体メーカーに装置を供給する。得意とする製造装置は各社で異なり、1種類だけを得意とする企業も多い。大手の米アプライドマテリアルズや東京エレクトロンなどは複数の装置をつくる。製造装置業界では、国内勢が世界シェア約4割を占める。多くの半導体を使うデジタル機器の主役がスマートフォンやタブレットなど携帯端末に移るなか、半導体も小型化や高機能化が求められ、製造装置の開発費用も膨らんでいる。

(2013-10-01 朝日新聞 朝刊 ２経済)

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