半導体製造装置（読み）ハンドウタイセイゾウソウチ

デジタル大辞泉

はんどうたい‐せいぞうそうち〔ハンダウタイセイザウサウチ〕【半導体製造装置】

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などをさす。

出典　小学館

共同通信ニュース用語解説

半導体製造装置

半導体を製造するための機械。複数ある製造工程に合わせて、円盤状の基盤に精密な回路パターンを焼き付ける半導体露光装置や、不純物を取り除く洗浄のための装置、検査装置などさまざまな種類がある。半導体の技術革新に伴い、製造装置の技術も急速に発展している。カナダの半導体調査会社「テックインサイツ」によると、米国のアプライドマテリアルズ、オランダのASML、東京エレクトロンなどが売上高で世界の上位を占める。

更新日:2023年1月3日

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