半導体を製造するための機械。複数ある製造工程に合わせて、円盤状の基盤に精密な回路パターンを焼き付ける半導体露光装置や、不純物を取り除く洗浄のための装置、検査装置などさまざまな種類がある。半導体の技術革新に伴い、製造装置の技術も急速に発展している。カナダの半導体調査会社「テックインサイツ」によると、米国のアプライドマテリアルズ、オランダのASML、東京エレクトロンなどが売上高で世界の上位を占める。
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出典 共同通信社 共同通信ニュース用語解説共同通信ニュース用語解説について 情報
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