事典 日本の地域遺産 の解説
縮小投影型露光装置 NSR-1505G2A
「重要科学技術史資料(未来技術遺産)」指定の地域遺産〔第00022号〕。
ステッパーと呼ばれる縮小投影露光装置の256キロビット超LSIラインに採用された最初期の装置。〈製作者(社)〉株式会社ニコン。〈製作年〉1984(昭和59)年
出典 日外アソシエーツ「事典 日本の地域遺産」事典 日本の地域遺産について 情報
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「重要科学技術史資料(未来技術遺産)」指定の地域遺産〔第00022号〕。
ステッパーと呼ばれる縮小投影露光装置の256キロビット超LSIラインに採用された最初期の装置。〈製作者(社)〉株式会社ニコン。〈製作年〉1984(昭和59)年
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