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表面安定化 ひょうめんあんていかsurface passivation

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

表面安定化
ひょうめんあんていか
surface passivation

表面不活性化,サーフェス・パッシベーションあるいは単にパッシベーションともいう。トランジスタダイオードなどの半導体素子の表面を二酸化シリコンなどの被膜でおおい,外気から遮断することにより素子の表面を安定化すること。これにより動作特性などの劣化を防ぐ。半導体素子の表面,特にp-n接合部の表面は付着した微量の湿気や不純物により状態が変化し,逆方向漏れ電流の増大,逆耐圧の低下,雑音の発生などの劣化が生じる。表面安定化でこれを防ぐとともに,プレーナ型素子などの製作では選択拡散技術と組合わされて表面安定化の工程が行われており,製作工程中のさまざまな汚れの影響を取除き,歩留り (良品率) もよくする。

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