超精密加工（読み）ちょうせいみつかこう（その他表記）ultra precision machining

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

超精密加工
ちょうせいみつかこう
ultra precision machining

0.01μm 程度あるいはそれ以下の値の精度を有する加工。大出力レーザー用光学部品，VTRシリンダ，半導体などの製造に関連して行われるようになった。従来の加工機械では達成がむずかしく，特別に設計された工作機械，工具および加工用素材が開発されている。工作機械本体は高剛性で，主軸，摺動面でのふれを極力少なくし，高位置精度を維持できる機械部品を採用している。たとえば，切削工具には，天然ダイヤモンドの中から結晶方位の正しいものを選定し，超精密加工にとって重要な刃先硬度，刃陵の鋭さを確保している。超精密加工の対象となる材料は粒子が細かく，介在物，欠陥，不純物が存在しないことが必要で，アルミニウム合金，銅，銀などがあげられる。

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