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超精密加工 ちょうせいみつかこう ultra precision machining

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

超精密加工
ちょうせいみつかこう
ultra precision machining

0.01μm 程度あるいはそれ以下の値の精度を有する加工。大出力レーザー用光学部品,VTRシリンダ半導体などの製造に関連して行われるようになった。従来の加工機械では達成がむずかしく,特別に設計された工作機械,工具および加工用素材が開発されている。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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