デジタル大辞泉 「遠紫外線レジスト」の意味・読み・例文・類語 えんしがいせん‐レジスト〔ヱンシグワイセン‐〕【遠紫外線レジスト】 遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素ふっそ、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素ふっそ、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
