最新 地学事典 「集束イオンビーム法」の解説
しゅうそくイオンビームほう
集束イオンビーム法
Focused Ion Beam method
集束したGaイオンビームを利用した電子顕微鏡観察試料作成法の一つ。FIBとも。SEM，STEM，またはTEMで観察するための断面試料や薄膜試料が作製できる。サブミクロン以下の高い加工位置精度により，岩石中の特定の鉱物，組織，界面の観察のために利用される。
執筆者：上原 誠一郎
出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報
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