デジタル大辞泉 「エッチングガス」の意味・読み・例文・類語 エッチング‐ガス（etching gas） ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
