エッチングガス（英語表記）etching gas

デジタル大辞泉「エッチングガス」の意味・読み・例文・類語

ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。

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