ジフルオロメタン(英語表記)difluoromethane

デジタル大辞泉 「ジフルオロメタン」の意味・読み・例文・類語

ジフルオロメタン(difluoromethane)

フロンの一。メタンを構成する水素原子2個を弗素原子2個と置換した化合物半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチング洗浄剤として用いられる。弗化メチレン。HFC-32。化学式CH2F2

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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