ジフルオロメタン（その他表記）difluoromethane

デジタル大辞泉「ジフルオロメタン」の意味・読み・例文・類語

フロンの一。メタンを構成する水素原子2個を弗素原子2個と置換した化合物。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。弗化メチレン。HFC-32。化学式CH₂F₂

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