六弗化ブタジエン（読み）ロクフッカブタジエン

デジタル大辞泉

ろくふっか‐ブタジエン〔ロクフツクワ‐〕【六^×弗化ブタジエン】

弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C₄F₆

出典　小学館