フルオロメタン（その他表記）fluoromethane

デジタル大辞泉

フルオロメタン（fluoromethane）

メタンを構成する水素原子1個を弗素原子1個と置換した化合物。ハイドロフルオロカーボン（HFC）に分類される代替フロンの一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。モノフルオロメタン。弗化メチル。HFC-41。化学式CH₃F

出典　小学館