トリフルオロメタン(その他表記)trifluoromethane

デジタル大辞泉 「トリフルオロメタン」の意味・読み・例文・類語

トリフルオロメタン(trifluoromethane)

フロンの一。メタンを構成する水素原子3個を弗素原子3個と置換した化合物エアコン冷蔵庫冷媒ほか半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチング洗浄剤として用いられる。温室効果ガス一種で、二酸化炭素の約1万5千倍地球温暖化係数をもつ。フルオロホルム。HFC-23。化学式CHF3

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