モノシラン（その他表記）monosilane

デジタル大辞泉

モノシラン（monosilane）

珪素けいその水素化物、シランの一つ。半導体、太陽電池など高純度珪素の製造原料となる。シリコメタン。化学式SiH₄

出典　小学館

世界大百科事典（旧版）内のモノシランの言及

【シラン】より

…Si_nH_2n＋2の組成をもつ水素化ケイ素silicon hydrideの総称。狭義にはモノシランSiH₄を指す。水素化ケイ素はケイ化マグネシウムMg₂Siあるいは亜鉛やリチウムのケイ化物に酸を作用させると得られ，モノシラン，ジシランSi₂H₆，トリシランSi₃H₈，テトラシランSi₄H₁₀などが得られる。…

※「モノシラン」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」