コトバンクはYahoo!辞書と技術提携しています。

クリーン・ルーム くりーんるーむclean room

翻訳|clean room

知恵蔵の解説

クリーン・ルーム

半導体素子や集積回路の製造を行うために、微小なほこりまで極度に少なくした作業室。極めて目の細かいフィルターを通して清浄化した空気を、天井から流し込み、金網状の床から下へ流し去るダウン・フロー方式が主流である。またウエハの流れる部分のみを超クリーン化したクリーン・トンネル法もある。温度、湿度制御もする。入室時は白衣やマスクを着用する。近年では、極度にほこりを減らし、さらに純水やガス、真空装置内までを極度に清浄化したスーパークリーン技術や、配管の内壁や装置の内壁のクリーンさにまで気を配るウルトラクリーン技術が開発されている。

(荒川泰彦 東京大学教授 / 桜井貴康 東京大学教授 / 2007年)

出典 (株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」知恵蔵について 情報

クリーン・ルームの関連キーワードbio clean roomエヌアイシ・オートテックシリコン・プロセス技術クリーンルーム方式日本スピンドル製造冷凍・空調機器工業HEPAフィルターULPAフィルターホソカワミクロン日本エアーテックユーホーケミカルミニマルファブウィルムス腫瘍日創プロニティバイオクリーンがんの化学療法クリーンルームアサヒ製作所富士電機総設エアシャワー

今日のキーワード

桃李もの言わざれども下自ら蹊を成す

《「史記」李将軍伝賛から》桃やすももは何も言わないが、花や実を慕って人が多く集まるので、その下には自然に道ができる。徳望のある人のもとへは人が自然に集まることのたとえ。...

続きを読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android