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プレーナ技術 プレーナぎじゅつ planar technique

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

プレーナ技術
プレーナぎじゅつ
planar technique

集積回路製造の主要技術。シリコン基板上に選択的に異種導電タイプの領域を不純物拡散法により形成し,その拡散に用いたシリコン酸化膜マスクをそのまま残し,その上に配線などを形成することを特徴とする。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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