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ボートグロウン法 ボートグロウンほう

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

ボートグロウン法
ボートグロウンほう

石英あるいは黒鉛のボート (舟) 形容器内で単結晶を製作する方法。3つの方法がある。 (1) 横型ブリッジマン法 温度勾配中をボートを水平方向に移動する。 (2) 温度勾配凝固法 ボートを固定。炉の温度勾配をもった部分に原料融液を置き,温度を徐々に下げることにより単結晶にする。 (3) 横型帯溶融 (ゾーンメルト) 法 ボート移動,帯域溶融法により結晶の純化もできる。これらのうち,(1) の方法がよく用いられ,特にガリウムヒ素単結晶製作の場合にはこの方法をボートグロウン法と呼び,チョクラルスキー法に対比させられている。

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