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マイクロマシン まいくろましん micro electro mechanical system

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知恵蔵2015の解説

マイクロマシン

MEMS」のページをご覧ください。

出典|(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵2015」
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デジタル大辞泉の解説

マイクロマシン(micromachine)

超小型の部品から構成される機械装置。半導体技術を応用して、超小型のモーターや駆動装置を作成し、血管の中に入って治療活動をするマイクロロボットを開発しようという試みがある。

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監修:松村明
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大辞林 第三版の解説

マイクロマシン【micromachine】

超小型の機械。一般に、10ミリメートル 立方以下の大きさのものをいう。

出典|三省堂
(C) Sanseido Co.,Ltd. 編者:松村明 編 発行者:株式会社 三省堂 ※ 書籍版『大辞林第三版』の図表・付録は収録させておりません。 ※ それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。

日本大百科全書(ニッポニカ)の解説

マイクロマシン
まいくろましん
micro-machine

半導体の微細加工技術を利用して、極微細なメカニカルな機構を実現した機械。集積回路(IC)をつくるのと同様の加工技術を用いて三次元機械部品をシリコン上でつくろうという試みは1970年代に始まったが、80年代の100マイクロメートルの静電モータが発表されたことから注目されるようになった。その後、材料も加工手段も種々開発され、占有容積は小さく複合・集積化や電子化が容易で、量産性もよいことから実用化が進められている。中心軸の周りを回る微少なギヤ、髪の毛の太さぐらいのスライダーがつくられ、さらに製品として3×5ミリメートルのシリコン基板上に0.6×0.3ミリメートルのミラー4個を静電力で回転させる光スイッチマイケルソン干渉計を利用した分解能0.01マイクロメートルの変位センサIC、混合液を流しながら化学分析できる24×10×2ミリメートルのシリコンチップ上に集積したフローセル、磁気ディスクトラッキング用の2.6ミリメートル径の静電モーター、ダイアフラムの弾性変形を利用した5×5×5ミリメートルの3軸加速度センサなどが実現されている。[岩田倫典]

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