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マスク合せ マスクあわせ mask alignment

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

マスク合せ
マスクあわせ
mask alignment

トランジスタ集積回路の製作において,繰返し行われるフォトエッチングの工程中,基板上に再現された先の図形上の所定の位置上に次の図形を形成するために行われるフォトマスクの図形の相対的位置合せの操作をいう。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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