フォトエッチング（英語表記）photo etching

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

フォトエッチング
photo etching

写真食刻法ともいった。半導体，金属，酸化被膜などの表面を部分的にエッチングするために，表面に耐薬品性の感光剤 (→フォトレジスト ) を塗布し，これを露光することによって，露光した部分 (あるいは露光しなかった部分) のフォトレジストを取去り，取去った部分だけを化学薬品などでエッチングする技術。微細で複雑なパターンを描いたマスクを用いてフォトレジストを露光することにより，半導体やその酸化被膜を微細に選択エッチングすることができ，酸化膜を用いた選択拡散技術を駆使するシリコンを中心としたトランジスタ，集積回路などの製造に欠くことのできない技術である。

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