ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「フォトエッチング」の意味・わかりやすい解説
フォトエッチング
photo etching
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…これはウェーハー全面に酸化膜を形成するのではなく,ウェーハー表面の特定領域を選択的に酸化するもので,バイポーラーICのプロセスにも広く用いられている。ウェーハー表面にシリコン窒化膜Si3N4を形成し,酸化膜を成長させたい部分の窒化膜を後述のフォトエッチングによって除去し酸化する。窒化膜がある部分は酸化されない。…
…現在ではとくにエレクトロニクスの分野では欠かすことのできない技術となり,各分野で広範囲に利用されている。 工程としては基板上に感光性をもつフォトレジスト層を設け,写真原版よりパターンを露光,必要部分を残して溶解除去し,エッチングまたはめっき方法により微細加工する(前者をフォトエッチング,後者をフォトエレクトロフォーミングという)。写真原版は希望する図柄を伸縮の少ないフィルム上に拡大して描き,その原図を特殊な縮写用カメラで通常数百分の1の大きさに縮写し,多面付けして作成する。…
※「フォトエッチング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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