同軸型直衝突イオン散乱分光法(読み)ドウジクガタチョクショウトツイオンサンランブンコウホウ

化学辞典 第2版 の解説

同軸型直衝突イオン散乱分光法
ドウジクガタチョクショウトツイオンサンランブンコウホウ
co-axial impact collision ion scattering spectroscopy

略称CAICISS(カイシス).イオン散乱分光法の一つで,イオンの加速エネルギーが数 keV 程度と非常に低いエネルギーであるため,表面数層分の分析が可能となる.試料から散乱されてくるイオンの運動エネルギースペクトルをある角度で測定すると,測定されるエネルギースペクトルはイオン散乱に寄与した試料中の原子の種類,すなわち質量に対応し,その強度は基本的にはそれぞれの種類の原子の濃度に比例する.シャドーコーンとよばれる,入射イオンが表面に存在するターゲット原子に衝突してつくる,イオンが侵入できない影の角度依存性を利用して,原子構造を解析できる.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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