化学辞典 第2版 の解説
同軸型直衝突イオン散乱分光法
ドウジクガタチョクショウトツイオンサンランブンコウホウ
co-axial impact collision ion scattering spectroscopy
略称CAICISS(カイシス)．イオン散乱分光法の一つで，イオンの加速エネルギーが数 keV 程度と非常に低いエネルギーであるため，表面数層分の分析が可能となる．試料から散乱されてくるイオンの運動エネルギースペクトルをある角度で測定すると，測定されるエネルギースペクトルはイオン散乱に寄与した試料中の原子の種類，すなわち質量に対応し，その強度は基本的にはそれぞれの種類の原子の濃度に比例する．シャドーコーンとよばれる，入射イオンが表面に存在するターゲット原子に衝突してつくる，イオンが侵入できない影の角度依存性を利用して，原子構造を解析できる．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報