最新 地学事典 「多重光束干渉法」の解説
たじゅうこうそくかんしょうほう
多重光束干渉法
multiple beam interferometry
S.Tolanskyが1944年に開発した干渉法の一種。通常の複光束干渉法では干渉縞が幅広いためせいぜい20～30nm程度の高低差までしか測定できないが，光学平行板と試料表面を銀蒸着して反射率を高め，単色平行光線下で干渉を起こさせると，両表面間の繰返し反射によって多数の光束が干渉に寄与し，干渉縞が著しくシャープになる。適切な条件下で実験すれば1～1.5nm程度の高低差まで測定可能。
執筆者：砂川 一郎
参照項目：干渉縞
出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報
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