探極法（読み）たんきょくほう（その他表記）probe method

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

探極法
たんきょくほう
probe method

探針法ともいう。プラズマ中に小電極すなわち探極 (プローブ) を挿入して，プラズマ中の空間電位，電子温度，プラズマ密度を測定する方法。探極の形は平面，円筒および球状で，プラズマ本体を乱さないよう十分小さくしてある。放電電極に対する探極の電位を変化させ，流入する電子流またはイオン電流との関係を示す特性曲線を求めることにより測定を行う。探極用の電極が1つのときを単探極法という。これに対し，高周波無電極放電およびアフターグローのプラズマの診断には2つの電極をもった複探極法が用いられる。

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