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有機金属気相成長法 ユウキキンゾクキソウセイチョウホウ

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デジタル大辞泉の解説

ゆうききんぞく‐きそうせいちょうほう〔イウキキンゾクキサウセイチヤウハフ〕【有機金属気相成長法】

原料に有機金属を含む混合ガスを用いた化学気相成長法化合物半導体の作製に利用され、これにより発光ダイオード半導体レーザーなどの光デバイス大量生産が可能になった。有機金属化学蒸着法。有機金属化学気相反応法有機金属CVD(chemical vapor deposition)。MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)。MOVPE(metal organic vapor phase epitaxy)。

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
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